편광변조 광학소자

Polarization-modulating optical element

Abstract

광활성 물질로 구성되는 편광변조 광학소자(1)가 광축의 방향에서 측정되었을 때 두께가 광학소자 전 영역에서 변화하는 두께프로파일을 갖는다. 편광변조 광학소자(1)는 제1 선형편광 광선의 진동면과 제2 선형편광 광선의 진동면이 각각 제1 회전각 및 제2 회전각 만큼 회전되고, 제1 회전각과 제2 회전각이 상이하다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    US-6191880-B1February 20, 2001Carl-Zeiss-StiftungRadial polarization-rotating optical arrangement and microlithographic projection exposure system incorporating said arrangement

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle