버퍼 챔버를 구비하는 금속 유기물 화학기상증착장치

Metal Organic Chemical Vapor Deposition apparatus having buffer chamber

Abstract

본 발명에 따른 금속 유기물 화학기상증착장치는 3A족(13족)-5A족(15족) 재료를 이용하여 질화물 층을 기판 상에 증착하는 복수개의 반응챔버와, 상기 복수개의 반응챔버들과 연결되며 상기 복수개의 반응챔버로 상기 기판을 입출시키는 이송로봇이 설치되는 버퍼챔버와, 상기 버퍼챔버 내부로 수소, 질소, 암모니아 가스 중의 하나를 선택적으로 공급하는 가스공급장치와, 상기 버퍼챔버 내부에 설치되어 상기 버퍼챔버 내부를 가열하는 히터를 구비하는 것으로, 본 발명에 따른 금속 유기물 화학기상 증착장치는 복수개의 반응챔버에서 질화물 층을 증착하고, 각 반응챔버에서 이송되는 기판상의 에피텍셜층의 안정성이 유지한 상태로 이송이 가능하도록 버퍼 챔버에서 온도 및 가스 분위기를 조절할 수 있도록 함으로써 질화물층을 분리하여 공정을 수행하는 효율이 향상되도록 하는 효과가 있다. MOCVD, 온도제어, 에피텍셜 성장, 버퍼 챔버

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    US-6350321-B1February 26, 2002International Business Machines CorporationUHV horizontal hot wall cluster CVD/growth design

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