基板搬送装置のコンベア固定機構および基板搬送装置

Conveyor fixing mechanism of substrate conveying apparatus, and substrate conveying apparatus

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the fixing and releasing workability of a conveyor in association with an interval change. <P>SOLUTION: A substrate conveyor includes a movable unit 2B which has a movable frame 50 extending in an X-axis direction and having a pair of parallel conveyors 20B, 21B and movable in a Y-axis. The rear side conveyor 21B of the conveyors 20B, 21B is mounted at a guide shaft 60 rotatably supported to the movable frame 50 via a one-way clutch 63. The movable frame 50 has a locking unit 70a (switching means) capable of switching to the stator (locking state) for inhibiting the relative rotation of the conveyor 21B and the guide shaft 60 or the stator (unlocking state) for allowing the relative rotation of the conveyor 21B and the guide shaft 60 in response to the directional switching of a rotary force to be imparted to the guide shaft 60. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
【課題】間隔変更に伴うコンベアの固定および解除時の作業性を向上させる。 【解決手段】基板搬送装置は可動部2Bを有し、この可動部2Bには、X軸方向に延びる平行な一対のコンベア20B,21Bを備えたY軸方向に移動可能な可動フレーム50が設けられる。コンベア20B,21Bのうち、後側のコンベア21Bは、可動フレーム50に回転可能に支持されたガイドシャフト60にワンウェイクラッチ63を介して装着されている。また、可動フレーム50には、ガイドシャフト60に付与する回転力の方向切換えに応じて、コンベア21Bとガイドシャフト60との相対回転を阻止する状態(ロック状態)とコンベア21Bとガイドシャフト60との相対回転を許容する状態(ロック解除状態)とに切換可能とするロック装置70a(切換手段)が設けられている。 【選択図】 図7

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    JP-2008091540-AApril 17, 2008Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd, 株式会社日立ハイテクインスツルメンツComponent mounting equipment
    JP-2013236023-ANovember 21, 2013Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd, 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ基板搬送装置