摺動部材および皮膜形成方法

Sliding member and film deposition method

Abstract

【課題】DLC皮膜を破損させることなくこれに微小な凹部を設けることを可能にし、低い摩擦係数と優れた耐摩耗性とを確保する。 【解決手段】アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により、基材1の表面に、金属層4を下層とし、金属と炭素との混合層5を上層とする中間層2を積層し、中間層2の上にダイヤモンドライクカーボンの皮膜(DLC皮膜)3を形成する。DLC皮膜3を成膜する際、基材1に印加する負のバイアス電圧を150〜600Vに設定し、DLC皮膜3の表面を、直径0.5〜1.0μm、深さ10〜30nmの微小な凹部6を集合させた形状とし、該凹部6をオイル溜りとして機能させる。また、所望により固体潤滑材の皮膜をDLC皮膜上に積層し、前記凹部6のアンカー効果により固体潤滑材の皮膜とDLC皮膜との密着性を高める。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sliding member and a film deposition method in which very small recessed parts are formed on a DLC film without breaking the film, and a low friction coefficient and high abrasion resistance are ensured. <P>SOLUTION: An intermediate layer 2 with a metal layer 4 as a lower layer and a mixed layer 5 of metal and carbon as an upper layer is laminated on a surface of a substrate 1, and a diamond-like carbon film (a DLC film) 3 is deposited on the intermediate layer 2 by the unbalanced magnetron sputtering method. When depositing the DLC film 3, the negative bias voltage to be applied to the substrate 1 is set to be 150-600V, very small recessed parts 6 of 0.5-1.0 μm in diameter and 10-30 nm in depth are formed on the surface of the DLC film 3, and the recessed parts 6 function as oil sumps. A film of solid lubricant is laminated on the DLC film as desired, and the adhesiveness of the solid lubricant film to the DLC film is enhanced by the anchoring effect of the recessed parts 6. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

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